«варьировались» по составу

Части слова: варь/ир/ова/л/и/сь
Часть речи: глагол
Состав слова:
варь — корень,
ир, ова, л, сь — суффиксы,
и — окончание,
варьирова + сь — основа слова.

Примечание: л является формообразующим суффиксом и не входит в основу слова. сь является словообразующим суффиксом (постфиксом) и входит в основу слова.